请问公司，在先进 制程领域里，HARP工艺比传统TEOS工艺的优势在哪？HARP工艺里，O3发生器是否为核心系统之一？

答盛美上海：2026-08-27 12:30:00

尊敬的投资者您好！具体信息请以公司官方公开披露信息为准。公司将不断深化半导体设备产业链的上下游协同合作，若有达到披露标准的重大业务合作，我们将严格按照相关法律法规及时履行信披义务。感谢您的关注！