按行业设备厂商公开的测算，一台典型的单片湿法清洗机台改用臭氧水方案后，一年可节省约 58.7 万升硫酸，折合运行成本约 50 万美元。同时含硫废酸属于危废，处理费用按吨计价，且监管趋势持续收紧。硫酸用量越大，这项负担越重。设备厂商公开的对比数据显示，臭氧水方案可将化学品消耗降低约 94%，超纯水消耗降低约 70%，因为省去了大量冲洗硫残留的环节。请问，臭氧水是否比传统SPM更加经济、环保？

答盛美上海：2026-07-30 14:30:00

尊敬的投资者您好！臭氧水与SPM（硫酸工艺）并非简单的替代关系，而是面向不同应用场景的互补选择。臭氧水适用于轻量有机残留去除的场景，SPM则凭借高温强氧化能力，在高剂量注入后光刻胶去除、厚重碳化层剥离等极端工况中具有不可替代性。公司在两条技术路线上均有完善布局，将根据客户工艺节点、污染物类型及成本考量，匹配最优解决方案。感谢您的关注！