米莱芯程上个月底发岀的设备可以用在国产DUV光刻机吗？

答联合化学：2026-07-31 09:09:20

尊敬的投资者您好，感谢您的关注！米莱芯程上月交付产品为i-line照明系统及物镜系统，i-line属于365nm波长紫外谱线（UV），相关产品适配成熟制程光刻工艺设备，应用场景覆盖集成电路制造、先进封装、光伏面板生产等领域。