请问公司，从技术路线上，臭氧与水蒸气相比，在原子层沉积设备的优势在哪？

答北方华创：2026-08-11 16:30:56

您好，在原子层沉积（ALD）工艺体系中，臭氧与水蒸气技术路线，二者在氧化机制、工艺特性与适用场景上各有侧重，并非单向的替代或优劣关系，具体技术选型需结合沉积材料种类、制程节点要求与器件性能目标综合判断。感谢关注！