投资者提问 2026-06-28 23:19:58
来源：互动易
半导体臭氧在半导体设备中的应用会是先进制程的发展趋势吗？
答北方华创：2026-08-11 16:33:41
您好，半导体制程演进始终围绕工艺精度、器件性能与量产成本的综合平衡展开，臭氧相关工艺是先进制程技术体系中的探索方向之一，行业整体呈现多技术路线并行、分场景适配的发展特征。感谢关注！
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