TGV（玻璃通孔）技术作为3D封装的核心技术，公司的TGV金属化设备有哪些技术优势？

答汇成真空：2026-05-14 16:44:52

尊敬的投资者，您好。公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术，射频、直流、HiPIMS高功率脉冲磁控溅射、脉冲偏压等模块化组合，自动升降传输基材，支持多个阴极同时溅射，镀制多层膜，自动处理工艺并记录数据，感谢您的提问。