投资者提问 2026-05-13 17:02:01
来源:互动易
公司在TGV/TCV通孔金属化技术方面处于什么水平?这项技术对AI芯片封装有多大意义?
答汇成真空:2026-05-14 16:01:07
尊敬的投资者,您好。公司研发的TGV通孔溅射镀膜设备采用负载锁定型溅射技术,射频、直流、HiPIMS高功率脉冲磁控溅射、脉冲偏压等模块化组合,自动升降传输基材,支持多个阴极同时溅射,镀制多层膜,自动处理工艺并记录数据,感谢您的提问。
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