投资者提问 2026-03-14 11:56:33
来源：互动易
请问公司在半导体AMC监测使用化学电离飞行时间质谱法技术吗？
答力合科技：2026-03-18 10:38:34
尊敬的投资者，您好！目前公司在半导体AMC监测方面，有针对颗粒物及颗粒物成分、无机气体、挥发性有机气体全套监测方案，监测原理暂未使用到化学电离飞行时间质谱法。感谢您的关注！
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