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    投资者提问 2026-01-31 14:00:09

    来源:互动易

    董秘您好,根据2025.9.8投资者关系活动记录表提到的高端光学系统(物镜及照明系统)应用于前道 KrF 和 iline 光刻机,最高可实现 110nm 分辨率,预 计25 年Q4 开始交付。目前有何进展?

    答联合化学:2026-02-03 16:13:48

    尊敬的投资者您好,感谢您的关注,经了解核实,公司投资参股公司米莱芯程的全资子公司一一上海芯颐和科技有限公司的高端光学系统业务正在稳步进行中,若有重大进展且涉及上市公司信息披露义务的,公司将严格按照相关规定履行信息披露义务。感谢您的关注!

    标签

    高端光学系统业务
    光刻机
    披露回避

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