• 投资者提问 2026-01-15 08:39:41

    来源:互动易

    贵司产品能否应用于光刻技术,国家需要属于自己的光刻机。贵司是否考虑布局储备类似的技术能力

    锐科激光:2026-01-15 17:41:45

    尊敬的投资者,您好!锐科激光“全波段系列产品”围绕激光领域“全波长、全功率、全脉宽、全应用”目标,实现各层级基础技术、材料、器件、光源自主创新。其中,波长仅为213nm的深紫外纳秒光纤激光器最大平均功率达到150mW,单脉冲能量超过0.6μJ,在DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等先进应用领域有着重要作用公司高度重视光刻机光源国产化需求,积极布局光刻配套光源相关技术储备,公司研发技术情况请以定期报告披露的情况为准。谢谢!

    标签

    深紫外激光器
    光刻配套光源
    光刻机

    属性

    乐观
    内容详尽
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