你好，请问常州维普的STORM5000是否已于11月份顺利交付？STORM5000主要用于什么制程的光掩膜？谢谢

答苏大维格：2026-01-08 19:58:05

您好，感谢您的关注！常州维普新一代STORM 5000 掩模缺陷检测设备于2025年12月顺利通过国内某头部客户商用验收，STORM 5000在光学成像、算法、算力等方面进一步提升，可满足更高制程的Mask制造。支持PSM、Binary 掩模检测，适配 ArF 与 KrF对应的技术节点，产品关键指标达预期，具备相关进口设备的替代能力。详细情况您可查阅“维普半导体”公众号等相关信息。