公司有研发原子层沉积ald和原子层蚀刻ale半导体臭氧产品设备吗？臭氧在原子层沉积和原子层蚀刻的作用是怎样的？

答国林科技：2025-10-24 16:59:23

尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。子公司国林半导体目前主营业务产品包括：臭氧气体发生器、臭氧气体输送设备、半导体级高浓度臭氧水系统、臭氧水溶浓度检测仪、臭氧尾气分解器等，可应用于半导体、光伏、电子光电等微观制程领域，目前占公司营业收入比重较小。公司主要产品及应用领域请参考公司及子公司官网产品介绍。感谢您的关注。