董秘您好，氦气发生冷却装置，用于光刻机的激光光源冷却系统，确保极紫外（EUV）或深紫外（DUV）光源的稳定运行。单台光刻机需1-2套，价值量超1300万元，技术壁垒极高。公司是否掌握相关技术？公司技术设备能否用于芯片制造领域？

答冰轮环境：2025-08-19 16:22:13

您好，公司暂不涉及光刻机的激光光源冷却系统。在半导体制造领域，公司精于电子厂房温湿控洁净精密空间建设，服务过中芯绍兴、富士康、天科合达、Wafer等。感谢关注