陶瓷加热器应用于 CVD 设备时， 温度均匀性（1℃）、寿命（≥1 万小时） 是否满足中芯国际、长江存储的先进制程（14nm 以下）需求？

答珂玛科技：2025-07-09 08:50:57

尊敬的投资者您好！截至目前，公司多款6寸/8寸/12寸“功能-结构”一体模块化产品陶瓷加热器已完成验证并投入批量生产，产品涉及多种规格及功能，包括单/双/多区加热，有/无射频，真空/静电吸附，400~650℃等，并装配于SACVD、PECVD、LPCVD、ALD和激光退火等设备。公司陶瓷加热器产品客户广泛，已经向多家国内主流半导体设备厂商及半导体晶圆厂商进行量产供应。感谢您的关注！