尊敬的董秘您好。请问贵司前道明场缺陷14mn的的检测设备有没有重复订单。谢谢

答精测电子：2025-05-12 16:10:24

您好！公司顺应半导体市场发展趋势，针对下游晶圆制造企业半导体制造工艺节点的升级需求对公司半导体检测设备进行技术迭代，进一步加大了对先进制程领域（14nm及以下）的研发投入。公司明场光学缺陷检测设备已取得多台正式订单，其中14nm先进制程工艺节点的明场缺陷检测内已正式交付客户；其他部分主力产品已完成7nm先进制程的交付及验收，目前更加先进制程的产品正在验证中。先进制程产品占公司整体营收和订单的比例不断增加，预计后续会成为公司业绩的核心驱动力。感谢您对公司的关注，谢谢！