（原标题：21.13亿主力资金净流入，光刻机概念涨3.10%）
截至5月20日收盘，光刻机概念上涨3.10%，位居概念板块涨幅第3，板块内，38股上涨，张江高科、晶方科技等涨停，同飞股份、中船特气、沃格光电等涨幅居前，分别上涨12.76%、12.25%、9.94%。跌幅居前的有中瓷电子、华辰装备、泰晶科技等，分别下跌4.40%、3.92%、3.14%。
今日涨跌幅居前的概念板块
| 概念 | 今日涨跌幅（%） | 概念 | 今日涨跌幅（%） |
|---|---|---|---|
| 国家大基金持股 | 4.12 | Web3.0 | -2.97 |
| 中芯国际概念 | 3.46 | 快手概念 | -2.95 |
| 光刻机 | 3.10 | AI视频 | -2.94 |
| 存储芯片 | 3.08 | NFT概念 | -2.73 |
| 光刻胶 | 2.33 | DRG/DIP | -2.64 |
| PVDF概念 | 2.29 | 小红书概念 | -2.63 |
| 先进封装 | 2.03 | 智谱AI | -2.57 |
| 氟化工概念 | 1.66 | MLOps概念 | -2.55 |
| 汽车芯片 | 1.51 | 互联网保险 | -2.54 |
| OLED | 1.42 | 数据确权 | -2.52 |
资金面上看，今日光刻机概念板块获主力资金净流入21.13亿元，其中，31股获主力资金净流入，10股主力资金净流入超亿元，净流入资金居首的是晶方科技，今日主力资金净流入7.02亿元，净流入资金居前的还有张江高科、大族激光、新莱应材等，主力资金分别净流入7.01亿元、6.09亿元、1.74亿元。
资金流入比率方面，张江高科、晶方科技、美埃科技等流入比率居前，主力资金净流入率分别为31.49%、28.97%、12.33%。（数据宝）
光刻机概念资金流入榜
| 代码 | 简称 | 今日涨跌幅（%） | 今日换手率（%） | 主力资金流量（万元） | 主力资金净流入比率（%） |
|---|---|---|---|---|---|
| 603005 | 晶方科技 | 10.01 | 10.26 | 70205.82 | 28.97 |
| 600895 | 张江高科 | 10.01 | 3.91 | 70050.35 | 31.49 |
| 002008 | 大族激光 | 5.51 | 6.53 | 60854.40 | 6.90 |
| 300260 | 新莱应材 | 2.34 | 12.25 | 17444.68 | 7.32 |
| 301095 | 广立微 | 6.73 | 6.79 | 16337.98 | 12.33 |
| 600619 | 海立股份 | 4.68 | 11.22 | 13016.69 | 7.66 |
| 301421 | 波长光电 | 7.48 | 30.75 | 12815.25 | 7.84 |
| 300990 | 同飞股份 | 12.76 | 17.80 | 12467.96 | 9.17 |
| 300456 | 赛微电子 | 1.48 | 8.54 | 11532.87 | 4.46 |
| 688630 | 芯碁微装 | 4.33 | 5.40 | 11454.76 | 5.63 |
| 688195 | 腾景科技 | 5.43 | 5.97 | 9799.36 | 3.78 |
| 300331 | 苏大维格 | 6.46 | 11.32 | 9659.77 | 6.54 |
| 688146 | 中船特气 | 12.25 | 17.10 | 8288.24 | 2.47 |
| 688502 | 茂莱光学 | 8.76 | 4.93 | 7223.94 | 4.89 |
| 688167 | 炬光科技 | 2.00 | 6.22 | 5061.84 | 1.91 |
| 688376 | 美埃科技 | -2.39 | 2.75 | 3815.70 | 12.33 |
| 003043 | 华亚智能 | 4.13 | 12.66 | 3294.58 | 4.65 |
| 600353 | 旭光电子 | 2.93 | 9.01 | 2888.10 | 1.62 |
| 688010 | 福光股份 | 2.08 | 6.17 | 2203.42 | 5.50 |
| 603800 | 洪田股份 | 2.26 | 3.43 | 1840.38 | 4.40 |
| 300219 | 鸿利智汇 | 1.71 | 5.34 | 1558.14 | 5.02 |
| 300786 | 国林科技 | 5.24 | 16.77 | 1490.06 | 3.04 |
| 603360 | 百傲化学 | 0.42 | 3.82 | 1188.02 | 1.83 |
| 300293 | 蓝英装备 | 4.02 | 7.21 | 1094.13 | 2.15 |
| 301297 | 富乐德 | 0.25 | 7.23 | 1003.96 | 0.74 |
| 688307 | 中润光学 | 3.75 | 5.97 | 953.41 | 1.44 |
| 301568 | 思泰克 | -0.75 | 8.51 | 537.98 | 2.16 |
| 002549 | 凯美特气 | 1.60 | 6.83 | 473.94 | 0.53 |
| 002816 | *ST和科 | 3.09 | 4.90 | 432.82 | 3.50 |
| 002889 | 东方嘉盛 | 1.18 | 2.30 | 362.08 | 4.59 |
| 688199 | 久日新材 | 1.52 | 4.42 | 34.71 | 0.16 |
| 600889 | *ST京化 | -0.99 | 0.72 | -13.12 | -0.33 |
| 300414 | 中光防雷 | -1.71 | 1.69 | -183.25 | -2.62 |
| 688079 | 美迪凯 | 1.35 | 3.87 | -186.78 | -0.65 |
| 603297 | 永新光学 | 4.06 | 3.53 | -235.78 | -0.41 |
| 301209 | 联合化学 | 1.07 | 1.30 | -456.65 | -4.05 |
| 688605 | 先锋精科 | 3.82 | 10.07 | -1097.70 | -1.20 |
| 301611 | 珂玛科技 | 3.66 | 9.75 | -1318.31 | -0.75 |
| 688409 | 富创精密 | 7.20 | 3.50 | -2266.49 | -1.23 |
| 600850 | 电科数字 | -0.04 | 9.61 | -5450.34 | -3.63 |
| 301128 | 强瑞技术 | -0.39 | 6.10 | -7485.44 | -7.04 |
| 688127 | 蓝特光学 | -0.20 | 2.27 | -7616.19 | -8.42 |
| 300809 | 华辰装备 | -3.92 | 6.78 | -7783.58 | -20.26 |
| 300666 | 江丰电子 | -0.12 | 7.13 | -12388.29 | -3.73 |
| 688268 | 华特气体 | 3.72 | 9.47 | -15425.83 | -7.20 |
| 603773 | 沃格光电 | 9.94 | 15.02 | -17131.42 | -6.96 |
| 003031 | 中瓷电子 | -4.40 | 4.05 | -28197.35 | -12.36 |
| 603738 | 泰晶科技 | -3.14 | 14.58 | -40842.31 | -14.41 |
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