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珂玛科技：超高纯碳化硅套件已小批量出货

来源：证星互动追踪 2025-10-14 15:33:08

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证券之星消息，珂玛科技(301611)10月14日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：董秘您好！提问以下两个问题：1.公司收购苏州铠欣超高纯碳化硅套件中，8 英寸非渗硅套件是否已实现批量交付？12 英寸渗硅套件的验证进度（如核心部件是否全部通过客户测试）？2.苏州铠欣的 CVD 碳化硅涂层产品（刻蚀环、喷淋头、SiC 外延用石墨基座等）目前在 SiC/GaN 外延设备领域的规模化应用情况如何？是否新增设备厂商客户？

珂玛科技回复：尊敬的投资者您好！公司超高纯碳化硅套件已小批量出货，6英寸非渗硅套件通过北方华创及Fab端验证并取得多套批量订单，8英寸非渗硅套件通过北方华创验证，正在Fab端推广，12英寸渗硅套件部分部件，例如Cap、隔热片等已通过北方华创验证，其他部件例如晶舟等尚在验证中。截至目前，苏州铠欣产品已经在Si外延、SiC外延、GaN外延等领域实现规模化应用，碳化硅刻蚀环、碳化硅喷淋头、12吋Si外延用碳化硅涂层石墨基座等产品进展良好。感谢您的关注！

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